제품소개
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ENGINEERING

임펄스 노즐[맥동형 노즐]

임펄스 시스템의 사용 장점

적용 이점 적용 공정
임펄스 노즐 사용으로 생산성 증대 효과[타력형 노즐] 현상-에칭-박리
액고임 현상에 따른 패턴 셩성 효과 증대 에칭
회로 형성 개선 효과 에칭
도금 후, DFR 필름 및 잔사 제거 개선 효과 박리
미세 회로 패턴 구현 효과 에칭
패턴간 회로 부식율 증대 효과 에칭
홀속 잔존 잉크 제거 효과 증대 PSR 현상

임펄스 시스템 노즐 개념도


초당 30~50회 맥동으로 타력

시스템 구현 예시

High Speed Etching
(Standard & Thicker Copper)
Standard Nozzle = 0.3㎛/sec.
Impulse Nozzle = 0.6㎛/sec.
(tested at CuCl2 Etchant)

임펄스 시스템형 노즐 적용 기준

제품 기준점 적용 방식
Cu 20미크론 이하 제품 적용의 경우 전체 대비 20% 적용
Cu 20미크론 이상 제품 적용의 경우 전체 대비 100% 적용
염화동 에칭액 기준 일반 노즐의 에칭량 0.3미크론/초
염화동 에칭액 기준 임펄스 노즐의 에칭량 0.6미크론/초
작업 조건 및 장비 환경에 따라 결과치는 다소 상이