Engineering 제품 안내
| 제품군 | 적용 공정 | 특성 |
|---|---|---|
| 임펄스 노즐 | 현상, 에칭, 박리, 수세 | 스프레이 사용 모든 공정 적용 |
| 에칭 첨가제[A7] | 미세 회로 구현 에칭 공정 | LS 30micron 이하 |
| OxiJet(오존에칭) | 미세 회로 구현 에칭 공정 | 하부 산화동 제거 |
| Auto Dosing System | 모든 약품 사용 공정 | 약품 사용량 절감, 수율 증대 |
[임펄스 노즐]
[에칭 첨가제]
[Oxijet 오존에칭]
[ADS System]